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电子信息

  • 12英寸磁存储器刻蚀机

    发布时间:2023-02-24
    截止时间:2023-11-06
    投入预算:面议
    需求类型:技术难题需求
    联系人:张琦
    联系人电话:0516-83896150,18751512951
    所在地:江苏省邳州市
    简介: 将离子束刻蚀(IBE)腔室、感应耦合等离子体刻蚀腔室(ICP)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)腔室这三种不同的工艺模块,集成在同一个真空平台系统上,以离子束刻蚀工艺模块为主,其他两种模块为辅,最终实现对磁隧道结的高效,高质量的刻蚀。
  • 详细内容

    江苏鲁汶仪器有限公司于2015年9月,由比利时鲁汶仪器、中科院微电子研究所等共同注资成立。公司总部位于江苏省徐州市,在北京设有研发中心,在上海、广州、西安、成都、台湾省新竹、新加坡、韩国光州等地设有市场和技术服务中心。

    公司拥有国际化的专家团队和苏北地区首家“诺贝尔奖得主工作室”。技术团队由诺贝尔奖获得者、三名国家级专家、多名国内外半导体领域知名教授、资深工程师、及高校科研院所的年轻技术骨干组成。

    作为以创新为主导的全球性高科技半导体装备企业,鲁汶仪器以其国际化团队研发出全球领先的磁存储器刻蚀系统,为先进的集成电路制造生产线提供了MRAM刻蚀装备和工艺解决方案。

        目前公司拥有自主研发专利:已经授权77件专利,其中发明专利授权24件,实用新型专利授权34件,外观专利授权5件,软件著作权取得14件。

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