1、需求内容主要技术：
自研MEMS器件关键结构的表面的黏附力、摩擦力、荷电及粗糙度等对器件的性能及可靠性有显著影响。为更好地进行工艺优化、失效机理研究，对器件所用半导体材料表面进行定量分析至关重要。目前粗糙度的测量方法已经较为成熟，结果精确度、准确度均能达到较高水平，但黏附力、摩擦力、荷电的测试对于样品设备匹配度要求较高，且结果通常停留在定性分析。需要在具有定性分析的AFM设备基础上（QNM-AFM），进行定量或半定量测试方法开发，如所用探针特性选择、测试条件优化、制样方法开发等已获取上述表面特性的定量或半定量数据。主要成本为AFM或其他设备测试机时、耗材以及人工。
2、现有基础：
对自研产品进行的定性分析积累了一定的经验，但结果可重复性较差，投入的资源主要为测试费用。
- 网站首页Home
-
新闻资讯
News
欢迎访问我们网站
-
科技资源
Resources
-
科技服务
Service
-
交易公示
Publicity
-
合作伙伴
Partner
-
我要发布
Release
-
风采大厅
Events
-
联系我们
Contact
江苏淮海技术产权交易中心是由江苏淮海科技城、徐州市科技局和中国矿业大学国家大学科技园联合出资设立的，专业从事技术成果转化、转移与技术产权交易的服务机构。
电子信息
-
半导体材料表面黏附力、摩擦力定量测试方法开发
发布时间：2023-03-10截止时间：2028-12-31投入预算：10万元需求类型：技术难题需求联系人：张琦联系人电话：0516-83896150，18751512951所在地：江苏省简介： 1、需求内容主要技术：自研MEMS器件关键结构的表面的黏附力、摩擦力、荷电及粗糙度等对器件的性能及可靠性有显著影响。为更好地进行工艺优化、失效机理研究，对器件所用半导体材料表面进行定量分析至关重要。目前粗糙度的测量方法已经较为成熟，结果精确度、准确度均能达到较高水平，但黏附力、摩擦力、荷电的测试对于样品设备匹配度要求较高，且结果通常停留在定性分析。需要在具有定性分析的AFM设备基础上（QNM-AFM），进行定量或半定量测试方法开... -
详细内容
扫描访问手机版 科技与知识产权
关于我们
电话：0516-83896168 传真：0516-83896168 邮箱：jshtec@163.com 网址：www.jshtec.com 地址：江苏徐州市金山东路中国矿业大学国家大学科技园科技大厦
