本发明公开了一种深紫外退偏器检测装置及检测方法。高端光刻机工作波长位于深紫外波段,可选用光学材料非常稀少,许多其他波段常用的偏振器件难以加工,这给退偏器的性能检测带来了困难。本装置中,单色光源发出的光依次通过布儒斯特起偏镜、待测退偏器和布儒斯特检偏系统。布儒斯特检偏系统包含布儒斯特检偏镜和探测器,由探测器记录出射强度。起偏和检偏镜的表面为平面,光以布儒斯特角入射,获得线偏反射光。由记录的出射光强度的最大值和最小值,可得到退偏光的偏振度,从而反映了退偏器的退偏性能。本发明提供的一种深紫外退偏器检测装置及检测方法具有结构稳定、光路简洁、元部件易生产制造等特点,满足了深紫外退偏器的检测需要。
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