本发明涉及生物传感技术领域,特别是涉及一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器。本发明采用硅纳米线作为换能器,其比表面积高,对表面电荷密度改变极为敏感,可实现气相条件下气味分子的高灵敏检测,检测灵敏度达到ppb量级;工艺过程简单,可控性强,可与现有半导体工艺完全兼容;成本较低,适于批量生产。
院属单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
联系人：李铁
联系方式：13501970958
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发明专利
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专利名称：一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器专利类型：发明专利专利号：CN201510882994.9发布日期：2025-07-10授权公告日：
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