一种微流体驱动泵及其应用涉及全集成微流控芯片,特别提供了一种专门用于微流体驱动和控制的微量泵。本发明提供了一种微流体驱动泵及其应用。包括盖板和玻璃基板,盖板扣合在玻璃基板上,玻璃基板上设置有泵腔,泵腔两侧设有液体通道,泵腔通过其两侧的进液口和出液口与两侧的通道相通,进液口和出液口为锥台形;盖板上与泵腔相对的位置包埋有压电陶瓷片,压电陶瓷片在玻璃基板上的投影处于泵腔内;进液口为锥台形,锥台面积大的下底面处于泵腔一侧,锥台面积小的上底面处于第一通道一侧;出液口为锥台形,锥台面积大的下底面处于第二通道一侧,锥台面积大的下底面处于泵腔一侧。
院属单位：中国科学院大连化学物理研究所
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