本发明公开了一种CMP离散数据曲面重构方法及装置,包括根据获得的初始CMP离散数据,生成离散数据重构的初始计算网格,并确定坐标平面;对坐标平面确定的构造点的邻域和外围区域进行初始赋值,获得构造点的初始函数值;依据离散数据的基准点的坐标位置和构造点的初始函数值,对离散数据进行连续延拓和修正处理,获得离散数据对应的初始重构二维曲面;对初始重构二维曲面进行光滑处理,获得光滑重构曲面;对光滑重构曲面进行插值处理,获得初始目标曲面;采用直角坐标表示初始目标曲面,获得离散数据对应的目标重构曲面。本发明可实现缩短CMP建模周期及提高建模效率的目的。
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发明专利
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专利名称：一种CMP离散数据曲面重构方法及装置专利类型：发明专利专利号：CN201810959807.6发布日期：2025-11-28授权公告日：
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