全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法

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发明专利

专利名称：全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法

专利类型：发明专利

专利号：201410607031.3

发布日期：2022-01-04

授权公告日：
详细内容

一种全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法，适用于工矿环境下使用，属于甲烷传感器及其制备方法与检测方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该全硅MEMS传感器采用单晶硅作为加热元件的加热材料，加热元件同时作为甲烷敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料即可实现低浓度甲烷的检测。该全硅MEMS甲烷传感器以SOI硅片为基片采用MEMS工艺加工，加工工艺与CMOS工艺兼容。该全硅MEMS传感器具有功耗低、灵敏度高、不受缺氧的影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。

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