本实用新型涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域,提供基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统,包括:容器、第一真空腔体和第二真空腔体,还包括样品台、低温冷头以及液体源;所述样品台设置于所述容器的上方,所述低温冷头用于为所述容器提供冷量,所述液体源用于为所述容器提供液体,所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部,所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。该基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统,由液体转化的低温固体的潜热制冷以实现样品台的温度的调控,在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后,系统处于零振动状态,并且样品台能够长时间维持在设定温度,温度波动范围很小。
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