本实用新型涉及电子显微镜样品台冷却技术领域,提供一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统。其中,制冷系统包括第一真空腔体、第二真空腔体、对置式压缩机、制冷机及样品台,制冷机位于第一真空腔体内,样品台位于第二真空腔体内,对置式压缩机位于第一真空腔体外并与制冷机柔性连接,制冷机的冷头与样品台相连。本实用新型提供的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统,对置式压缩机带动制冷机制冷,制冷机产生的冷量传递至样品台以降低样品台的温度,从而满足不同样品测量环境的温度要求,适用性高;对置式压缩机与制冷机分别位于第一真空腔体的外部和内部,相互分离设置,两者之间柔性连接,减小样品台的振动。
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