本实用新型提供一种氦离子化检测器,包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极;衬底中具有腔室,腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道,激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区,进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区;激发电极对的激发电极区位于第一交汇区;进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管,可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气;偏置电极及收集电极位于出气沟道中,且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本实用新型可在腔室中形成高压“准零流速区”,有利于激发氦等离子体,且此区域氦气流速极低,有利于稳定氦等离子体基团,进而可降低基线噪声。
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