本实用新型提供一种微色谱柱,微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列,可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小;可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q,以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下,可有效提高柱内表面积,同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题;通过在沿微沟道的宽度方向上,将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距,可进一步的缓解载气流速不均的问题,以进一步的使得柱内的流速分布均匀;本实用新型的微色谱柱结构和制备工艺简单,可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担,有利于便携式应用,使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
院属单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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