一种有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪,包括进样系统、样品处理系统、双离子源质谱仪系统和电控系统;所述进样系统包括样品气源、标准气源、三通阀、第一抽气泵和第一流量控制器;所述样品处理系统包括切换阀、第二抽气泵、氮气源、第二流量控制器、加热设备和制冷设备;所述双离子源质谱仪系统包括电子轰击源、真空紫外光离子源、四级杆质量分析器和电子倍增器。本实用新型实现了无机和有机混合气高灵敏的实时定量分析,提高了混合气体的检测速度,提高了检测效率、定量准确性和灵敏度。
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