技术指标:
(1)测量视场:>1000 mm;
(2)测量分辨率:优于 3 微米。
创 新 点:
本成果创新性采用阵列式相机及云纹光栅技术,利用提出的光栅自优化方法
和多光学系统标定技术,扩大了视场范围,极大地提高了测试分辨率及精度。
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