本产品应用于半导体生产工艺过程的离子注入机中，用于励磁的一款高精度可编程电源。输出电压量程为 0 ‐6V ，输出电流量程为 0 ‐ 100A ，电压电流精度均可达千分之一。根据负载可随时切换到恒压、恒流工作模式，并支持本地和远程编程控制。本产品具有模拟量接口、人机接口，以及远程通信管理功能等。产品前端具有 LED 数显功能，可实时显示输出电流，电压，设定工作电流，电流等。各种保护功能齐全，包括抗雷击，过压，过流以及风扇堵转保护等。成果实现了能耗数据可视化、达到能耗排放最优化，并为企业能源管理部门及政府能源管理机构提供节能减排信息化服务。
应用前景：
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。成果可广泛应用于半导体生产用离子注入机中，有效的实现了数据的可视化。
成熟度：小试阶段
