薄膜厚度测试仪_淮海经济区技术产权交易中心

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薄膜厚度测试仪

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简介： 薄膜厚度测试仪是适用于各种薄膜材料厚度精确监测的仪器，目前已经广泛应用于各类仪器当中，尤其是在一些国家重点投入和支持的科研领域中，如制备有机发光二极管(OLED) 的真空热蒸镀仪、制备太阳能电池的真空热蒸镀仪以及一般的热蒸镀仪和溅射仪。薄膜厚度测试仪通过对蒸镀或者溅射出的材料的精确监测，可以直观地读出响应沉积的薄膜厚度。以OLED 真空热蒸镀仪为例，大部分的蒸镀材料为有机材料和金属电极材料(如铝、银等金属)且最小厚度需要精确到0.1纳米，因此对薄膜厚度测试仪的厚度和速度分辨率有较高的要求。该项目研发的多通道QCM 薄膜厚度测试仪(型号为 DPM4c) 具有超高灵敏度，拥有更多通道。在同级别产品中，其质量更高且价格更低廉。规格方面，该薄膜厚度测试仪拥有四个可同时使用的传感器，测量频率范围为在3-10 MHz 之间，分辨率在 6 MHz的条件下可达到0.025 Hz, 频率稳定性小于1 ppm(1Hr), 使用接口为标准的RS422 和 RS485 接口。此外，该薄膜厚度测试仪拥有16个1/O Aux输出口，且具有晶振片异常检测功能。
详细内容

薄膜厚度测试仪是适用于各种薄膜材料厚度精确监测的仪器，目前已经广泛应用于各类仪器当中，尤其是在一些国家重点投入和支持的科研领域中，如制备有机发光二极管(OLED) 的真空热蒸镀仪、制备太阳能电池的真空热蒸镀仪以及一般的热蒸镀仪和溅射仪。薄膜厚度测试仪通过对蒸镀或者溅射出的材料的精确监测，可以直观地读出响应沉积的薄膜厚度。以OLED 真空热蒸镀仪为例，大部分的蒸镀材料为有机材料和金属电极材料(如铝、银等金属)且最小厚度需要精确到0.1纳米，因此对薄膜厚度测试仪的厚度和速度分辨率有较高的要求。该项目研发的多通道QCM 薄膜厚度测试仪(型号为 DPM4c) 具有超高灵敏度，拥有更多通道。在同级别产品中，其质量更高且价格更低廉。规格方面，该薄膜厚度测试仪拥有四个可同时使用的传感器，测量频率范围为在3-10 MHz 之间，分辨率在 6 MHz的条件下可达到0.025 Hz, 频率稳定性小于1 ppm(1Hr), 使用接口为标准的RS422 和 RS485 接口。此外，该薄膜厚度测试仪拥有16个1/O Aux输出口，且具有晶振片异常检测功能。