高端微纳光刻装备是开展微纳新材料、半 导体、MEMS、 生物芯片、精密电路、平板显 示、固态照明等领域技术研发和产品生产的必 要设备。研发团队在高精度激光微纳米直写和 加工技术方面开展了长期研发创新，建立了业 内首个跨尺度的微纳柔性制造平台，其中，大 幅面微纳直写光刻装备幅面达65寸，结构分 辨率109纳米，打破了纳米光刻加工系统严重 依赖国外引进的局面，具有国际领先水平，并 在国内外得到广泛应用(南开大学、苏州纳米 所、上海理工大学、以色列、日本、韩国等)。
- 网站首页Home
-
新闻资讯
News
欢迎访问我们网站
-
科技资源
Resources
-
科技服务
Service
-
交易公示
Publicity
-
合作伙伴
Partner
-
我要发布
Release
-
风采大厅
Events
-
联系我们
Contact
江苏淮海技术产权交易中心是由江苏淮海科技城、徐州市科技局和中国矿业大学国家大学科技园联合出资设立的，专业从事技术成果转化、转移与技术产权交易的服务机构。
高端制造
-
大幅面微纳直写光刻装备
类型：成熟度：专利号/型号：交易方式：简介： 高端微纳光刻装备是开展微纳新材料、半 导体、MEMS、 生物芯片、精密电路、平板显 示、固态照明等领域技术研发和产品生产的必 要设备。研发团队在高精度激光微纳米直写和 加工技术方面开展了长期研发创新，建立了业 内首个跨尺度的微纳柔性制造平台，其中，大 幅面微纳直写光刻装备幅面达65寸，结构分 辨率109纳米，打破了纳米光刻加工系统严重 依赖国外引进的局面，具有国际领先水平，并 在国内外得到广泛应用(南开大学、苏州纳米 所、上海理工大学、以色列、日本、韩国等)。 -
详细内容
扫描访问手机版 科技与知识产权
关于我们
电话：0516-83896168 传真：0516-83896168 邮箱：jshtec@163.com 网址：www.jshtec.com 地址：江苏徐州市金山东路中国矿业大学国家大学科技园科技大厦
