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高端制造

  • 生长无缺陷可控半导体量子点的设备

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    交易方式:
    简介: 半导体器件所需外延材料经历了从体材料、量子阱到量子点材料三个台阶的发展过程,每前进一个 台阶,器件性能要提高一个以上数量级。体材料和量子阱材料器件已经在诸如CPU、LED、 数码相机 等大规模产业化,产生了上万亿的产值。但是,量子点器件依然停留在实验室。
    传统量子点的制备有两种技术:自组织生长和常规定位生长。(1)自组织生长:自组织量子点不 引入缺陷。但是,是随机和不可控的。(2)常规定位生长:纳米图形化衬底外延生长的量子点是可控的。 但是,图形化处理使得量子点充满了缺陷。未见有成功的器件报道。
    这些缺点,很难通过技术进步来克服,二者优点不能共存。这些缺点是目前量子点技术产业化应用 不可逾越的瓶颈。
    我们通过将直写激光干涉纳米图形化(DLINP) 实时、原位地与半导体材料常规外延技术一分子 束外延(MBE) 结合起来,设计、制备了国际上首个 DLINP-MBE 工程化样机,成功生长1D、2D长程有序、可控、无缺陷的量子点阵列。解决了半导体外延量子点“低缺陷密度”与“可控”不可兼得 的问题。该成果国际上尚无相关报道。
  • 详细内容

    半导体器件所需外延材料经历了从体材料、量子阱到量子点材料三个台阶的发展过程,每前进一个 台阶,器件性能要提高一个以上数量级。体材料和量子阱材料器件已经在诸如CPU、LED、  数码相机 等大规模产业化,产生了上万亿的产值。但是,量子点器件依然停留在实验室。

    传统量子点的制备有两种技术:自组织生长和常规定位生长。(1)自组织生长:自组织量子点不  引入缺陷。但是,是随机和不可控的。(2)常规定位生长:纳米图形化衬底外延生长的量子点是可控的。 但是,图形化处理使得量子点充满了缺陷。未见有成功的器件报道。

    这些缺点,很难通过技术进步来克服,二者优点不能共存。这些缺点是目前量子点技术产业化应用 不可逾越的瓶颈。

    我们通过将直写激光干涉纳米图形化(DLINP)    实时、原位地与半导体材料常规外延技术一分子 束外延(MBE)   结合起来,设计、制备了国际上首个 DLINP-MBE    工程化样机,成功生长1D、2D长程有序、可控、无缺陷的量子点阵列。解决了半导体外延量子点“低缺陷密度”与“可控”不可兼得 的问题。该成果国际上尚无相关报道。

    该技术已经获得中国(ZL     201110224270.7、ZL     201110178877.6)和美国(US   8,969,185B2) 发明专利授权和PCT 保护(PCT/CN2012/078013),      欧盟和日本的发明专利申请正在审理中。有望解决量子点技术产业化应用的瓶颈,使得该技术生长的量子点能够实现产业化应用。该研究将在纳 米电子器件、单光子器件、单电子器件、量子通讯和量子计算、高转换率多激子太阳能电池等领域有着 广泛的应用前景。

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