一种大面积大气压辉光放电等离子体材料处理装置研制

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一种大面积大气压辉光放电等离子体材料处理装置研制

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简介： 大气压辉光放电等离子体是一种产生于大气压环境的均匀等离子体。通常情况下，气体气压越高，气体中粒子的平均自由程越短，能量会通过碰撞而快速损耗。因此在大气压下产生的等离子体一般呈现出丝状、不稳定的状态，很难产生均匀的辉光放电等离子体，这也限制了辉光放电在工业上大规模的应用。本项目提出一种可以用于材料表面处理的新型大气压放电装置，该装置具有以下优点：通过特殊地电极结构设计实现了在大气压条件下的辉光放电等离子体，更加均匀，材料处理效果优于丝状放电的等离子体；采用阵列式的结构设计，在实验室中实现了1100×30mm2 的大面积放电，并且可以通过并联、级联等方式随意组合从而实现更大的面积，为工业应用提供了设计思路；采用特殊结构的双介质阻挡放电，抑制电弧放电效果明显，装置运行稳定安全；空气中即可放电，无需昂贵的真空设备和成本较高的氦气、氩气等气体，大大地降低了工业应用的成本投入。
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大气压辉光放电等离子体是一种产生于大气压环境的均匀等离子体。通常情况下，气体气压越高，气体中粒子的平均自由程越短，能量会通过碰撞而快速损耗。因此在大气压下产生的等离子体一般呈现出丝状、不稳定的状态，很难产生均匀的辉光放电等离子体，这也限制了辉光放电在工业上大规模的应用。本项目提出一种可以用于材料表面处理的新型大气压放电装置，该装置具有以下优点：通过特殊地电极结构设计实现了在大气压条件下的辉光放电等离子体，更加均匀，材料处理效果优于丝状放电的等离子体；采用阵列式的结构设计，在实验室中实现了1100×30mm2 的大面积放电，并且可以通过并联、级联等方式随意组合从而实现更大的面积，为工业应用提供了设计思路；采用特殊结构的双介质阻挡放电，抑制电弧放电效果明显，装置运行稳定安全；空气中即可放电，无需昂贵的真空设备和成本较高的氦气、氩气等气体，大大地降低了工业应用的成本投入。