项目简介：
当一束激励X射线照射到样品上，镀层和基底中的元素都放射出特征荧光X射线（XRF）。镀层荧光X射线的强度随镀层厚度而增加；基底荧光X射线的强度随镀层厚度而降低。根据这类关系，测定荧光X射线的强度，便可以计算出镀层的厚度。普通XRF仪器的照射区域比较大，不适用于精微细小、形状复杂的样品。微区XRF仪器将微束X射线集中照射在很小的区域内（专利ZL94112117.8），采用激光定位技术（专利ZL97235392.5），能方便地选择样品上任意部位进行精确测量。XRF微区镀层测厚仪的国内市场需求量每年约300台，（以每台20万计算，每年需求额约6000万元），绝大部分来自三家外国公司（美国CMI公司，德国Fischer公司和日本精工舍公司）。中国科学院上海应用物理研究所凝聚其30多年从事X射线荧光（XRF）技术研究的经验，结合其近年来在微区分析领域取得的成果，于1994年研制成功XRF系列微区镀层测厚仪，受到用户好评。这项研究成果的目标是在镀层质量检验中，用我国高新科学技术，取代昂贵的进口仪器。
应用前景：
电子元件、精密机械、钟表眼镜、珠宝首饰及电镀等。
