许爽博士与国内外科研院所广泛合作，组建了一支由测控、机械等学科交叉的研究团队。专门研发光源表 征、掩膜优化、投影物镜像差检测、光机优化设计及集成、工具性软件发开、成套解决方案设计等核心技术，目 前掌握了光刻成像分析、像差检测分析、晶圆缺陷检测系统、光源及掩模版优化设计等关键技术。团队成员主持 了包括国家自然科学基金、湖北省自然科学基金、湖北省教育厅科研计划项目等基金项目，多项企业委托研发项 目，发表相关SCI/EI论文20余篇。拥有多项中国发明专利
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微纳光学检测技术
类型：成熟度：专利号/型号：交易方式：简介： 许爽博士与国内外科研院所广泛合作，组建了一支由测控、机械等学科交叉的研究团队。专门研发光源表 征、掩膜优化、投影物镜像差检测、光机优化设计及集成、工具性软件发开、成套解决方案设计等核心技术，目 前掌握了光刻成像分析、像差检测分析、晶圆缺陷检测系统、光源及掩模版优化设计等关键技术。团队成员主持 了包括国家自然科学基金、湖北省自然科学基金、湖北省教育厅科研计划项目等基金项目，多项企业委托研发项 目，发表相关SCI/EI论文20余篇。拥有多项中国发明专利 -
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