成果简介：
高精度全自动双头固晶机，采用面向双工作头优化协同的高速图像拾取、定位和处理技术，开发出模板大小 达128×128,可完成一次定位时间7~10ms, 具有纳秒级位置轨迹图像捕获功能系统，设计出轻量化高刚度高 性能真空电机旋转摆臂结构，开发出高刚度高稳定性的摆臂系统、恒温点胶控制装置、芯片支架的夹取装置等。 软件围绕着高速高精全自动固晶机，提供一种集操作、设置、查询于一体的低耦合操控系统。
关键技术包括：
(1)多运动轴下的高精度协同控制技术(控制精度达0.1um);
(2)基于图像识别技术的高效率和高精度芯片定位。
