本成果将磁致伸缩材料与高 Q 值石英谐振器复合， 设计了一种隔离磁机阻尼 的数字频率输出型差分谐振式磁传感器。在磁场作用下， 磁致伸缩力高效传递到 音叉谐振器， 借助音叉谐振器力敏感特性， 实现磁-力-频率转换。传感器具有高 灵敏度、高 Q 值、低功耗、低温漂、低噪声等优点。
技术指标：
(1)灵敏度 42Hz/mT；(2)探测极限优于 500pT/Hz@1Hz；
(3) Q 值＞15000；(4)量程±15mT；(5)滞后＜5Hz (0.4%F.S)。
创 新 点：
(1)利用双端固定双梁音叉谐振器结构的解耦特性， 设计应力耦合结构替 代应变耦合方式， 隔离磁致伸缩材料的磁机阻尼， 保证复合传感器 Q 值与音叉谐 振器 Q 值相当；
(2)紧凑型偏置磁路差分敏感结构设计，保证传感器工作于性能最优及线 性区，抑制温度及共模噪声影响；
(3)专用高稳定低相噪厚膜集成电路，配合高真空低水汽微机电一体化封 装技术，保证传感器性能及长期稳定性，进一步释放传感器磁探测潜力。
