本成果将压电材料与高 Q 值石英音叉谐振器复合， 设计了一种高精度高电压 传感器， 其中压电材料为一次敏感元件、石英谐振器为二次谐振敏感元件。设计 高传递效率弹性力传递结构， 将压电材料在电压作用下产生的电致伸缩力传递到 石英音叉谐振器上， 实现电压-力-频率转换。传感器具有高安全性、高输入阻抗、 高精度、高稳定、宽温度工作范围、可直接输出数字频率信号等优点。
技术指标：
(1)量程 0~12kV；(2)线性度优于 0.1%；(3)测量精度优于 0.08%；
(4)频率响应＞100Hz；(5)工作温度范围-20~60℃。
创 新 点：
(1)高电压差分输入结构及双谐振器差分敏感结构设计， 对消热应力影响， 保证宽温度范围内高稳定性；
(2)谐振式敏感结构，可选择数字信号输出或模拟电压输出，便于信号传 输和检测；
(3)通过机械耦合结构实现高压侧和弱电侧的有效隔离，无需衰减，安全 性高。
